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产品类别

SFC/SFM5400

 

SFC5400/SFM5400质量流量控制器/流量计

产品特点:

 ● 快速响应和稳定时间(可达50毫秒)

 ● 优良的精度/重复性(分别为测量读数的0.8%/0.1%)

 ● 很宽的动态范围 (量程比可达1000:1)

 ● 多种数据接口可供选择:RS 485,DeviceNet,IO-Link和模拟电压/电流

 ● 多种机械连接可供选择:下装,Swagelok,VCR,VCO,Legris,C-Seal,W-Seal

 ● 实标的多种气体和气体识别


SFC5400/SFM5400质量流量控制器/流量计性能参数

参数

单位

流量范围

0.05, 0.1,  0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10

20, 50, 100,  (2001)

ln/min or  slm

精度2
两者以较大者为准

0.8

1

% s.p.3

0.08

0.1

% FS

重复性
两者以较大者为准。

0.1

0.2

% s.p.

0.01

0.02

% FS

稳定时间典型值4

100 (50  for optimized OEM versions 5)

ms

取样频率

1000

Hz

量程比6

超过 1000:1


标准标定气体

Air/N2,  H2, O2, He, Ar, CO2


用气体转换标定的气体7

标准: SF6, C4F8
 OEM
版,可根据要求与其他气体或混合物


工作温度(环境和气体)

0 – 50 /  32 – 122

°C / °F

Temp.  coeff. zero

0.005

% FS / °C

Temp.  coeff. span

0.06

% s.p. /  °C

全量程压降
 SFC5400
 SFM5400


 < 2.0 / 29
 < 0.1 / 1.5


 < 3.0 / 43
 < 0.2 / 3

bar / psig

输入最大压力8

10 / 145

bar / psig

最大差压9

5 / 73

4 / 58

bar / psig

MFC外部泄漏

9 x 10-9

9 x 10-6

mbar l/s  He

电磁阀泄露量

1 x 10-6

mbar l/s  He

热机时间10

1

sec

1  精度会降低;

2  包括偏移、非线性和迟滞。根据NIST可追踪基准测量;

3  读数%=测量点精度=流量=读数;

4  设定点5%精度内流量从10%到100%的响应时间,具有模拟接口的质量流量控制器由于模拟电路延迟(通常由因子2)而需要较长的稳定时间;

5  50个最小年用量;

6 参数只适用于质量流量控制器。具有模拟接口的设备的性能取决于布线质量,通常不超过500:1;

7  气体转换是利用标准气体的组合从实际的气体校准数据中产生的。典型的准确度为2%M.V。/0.2%FS(以较大者为准)。如果您的OEM项目需要更高的精度规格,请与Sensirion联系;

8  进气道与周围环境的压力差;

9  进气口和出口之间的压差。要获得更高的压差选项,请联系Sensirion;

10  读数稳定到设定点的2%精度内的时间。


SFC5400/SFM5400订购代码的详细说明

例如:      SFC5400 LAG N2  500  mln/min

代码结构:  产品型号XAZ 气体 范围  单位  (见下表)

参数

描述

文档查找地方

产品型号

SFC5400
 SFM5400

质量流量控制器
质量流量计


X –电气通讯

U
 W
 C
 Q
 R
 S
 L

模拟电压 0-5 VDC
模拟电压0-10 VDC
模拟电流 4-20 mA
模拟电压+RS485  0-5  VDC
模拟电压+RS485 0-10 VDC
模拟电压+RS485t 4-20 mA
数字 RS485 & Devicenet & IO-Link

第三部分

A –  本体材料

A

Aluminum  (steel on request for OEM volumes)

表二

Z –  连接

5
 6
 7
 A
 B
 D
 E
 W
 C
 F
 G
 H
 I

Swagelok  6mm
 Swagelok 1/4"
 Swagelok 1/8"
 Legris 6 mm
 Legris 8 mm
 Legris 10 mm
 Legris 12 mm
 W-seal
 C-seal
 SAE/MS; 9/16-18 UNF Thread
 Downmount, Manifold
 VCO 1/4"
 VCR 1/4"

第四部分

气体

Air/N2,  H2, O2, He, Ar, CO2, SF6, C4F8

表1

流量范围

0.05,  0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100 slm

表1

单位

mln/min
 ln/min
 sccm
 slm

标准毫升/分钟
标准升/分钟
标准毫升/分钟
标准升/分钟

表7