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产品类别

ASF1430

 

ASF1430质量流量计



产品特点:

总质量流量积分器

数据率高达200hz

测量范围可达:0.01-400 sccm

良好的分辨率和精度

校准和温度补偿

RS- 232


产品参数:(除非另有说明,所有数据均适用于20℃,1013mbar)

参数

条件

最小

典型的

最大

单位

流量传感器

动态范围1

直接测量

-400

400

Sccm  2

客户特定的旁路

无限的

无限的

分辨率3

400  sccm flow / 640 ms

0.1

sccm

最低可测流

<  10 sccm flow / 640 ms

0.0143  (1/70)

sccm

压降

400  sccm, pabs = 1 bar

120

Pa 4

重复性

0.0025  % FS5

0.025  % m.v.

精度6

23°C

0…5  % of full scale

0.05  % FS

5…100  % of full scale

1 %  m.v.

偏移精度

23°C

<  0.005

<  0.02

% FS

超压电阻7

1

1.5

bar

响应时间

取决于分辨率设置

5

640

ms

操作温度

0

70

°C

环境温度系数

零点

<  0.0008

<  0.002

% FS  / °C

范围

<  0.03

<  0.08

%  measured value/ °C

灵敏

pabs=1  bar, 流量

±0.004

% FS

1.校准在+- 400sccm范围内有效,但流量显示在+- 440 sccm范围内。超过440 sccm显示溢出。

2.0℃和1013mbar压力下,1sccm = 1 cm3/min (1sccm = 0.001 毫升每分钟)

3. 可以回到0流量数值

4. 1 bar = 100 000 Pa = 0.9869 atm =401.9 inch H2O = 14.5 psi  

5. 误差=全量程(FS)%或测量值(m.v.)%,以较大的为准。

6. 根据要求可提供更好的校准。允许传感器预热以获得良好的效果。

7. OEM解决方案中可以实现更高的超压电阻。