产品特点:
● 总质量流量积分器
● 数据率高达200hz
● 测量范围可达：0.01-400 sccm
● 良好的分辨率和精度
● 校准和温度补偿
● RS- 232
产品参数：(除非另有说明，所有数据均适用于20℃，1013mbar)。
参数 | 条件 | 最小 | 典型的 | 最大 | 单位 | |
流量传感器 |
| |||||
动态范围1 | 直接测量 | -400 |
| 400 | Sccm 2 | |
客户特定的旁路 | 无限的 |
| 无限的 |
| ||
分辨率3 | 400 sccm flow / 640 ms |
| 0.1 |
| sccm | |
最低可测流量 | < 10 sccm flow / 640 ms |
| 0.0143 (1/70) |
| sccm | |
压降 | 400 sccm, pabs = 1 bar |
| 120 |
| Pa 4 | |
重复性 |
|
| 0.0025 % FS5 0.025 % m.v. |
|
| |
精度6 | 23°C | 0…5 % of full scale |
| 0.05 % FS |
|
|
5…100 % of full scale |
| 1 % m.v. |
|
| ||
偏移精度 | 23°C |
| < 0.005 | < 0.02 | % FS | |
超压电阻7 |
|
| 1 | 1.5 | bar | |
响应时间 | 取决于分辨率设置 | 5 |
| 640 | ms | |
操作温度 |
| 0 |
| 70 | °C | |
环境温度系数 | 零点 |
| < 0.0008 | < 0.002 | % FS / °C | |
范围 |
| < 0.03 | < 0.08 | % measured value/ °C | ||
灵敏性 | pabs=1 bar, 小流量 |
| ±0.004 |
| % FS | |
1.校准在+- 400sccm范围内有效，但流量显示在+- 440 sccm范围内。超过440 sccm显示溢出。
2.在0℃和1013mbar压力下，1sccm = 1 cm3/min (1sccm = 0.001 毫升每分钟)。
3. 可以回到0流量数值
4. 1 bar = 100 000 Pa = 0.9869 atm =401.9 inch H2O = 14.5 psi
5. 误差=全量程(FS)的%或测量值(m.v.)的%，以较大的为准。
6. 根据要求可提供更好的校准。允许传感器预热以获得良好的效果。
7. 在OEM解决方案中可以实现更高的超压电阻。
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