产品型号

SFM3000

SFM3100

SFM3200

SFM3200-AW

SFM3300-AW

SFM3300-D

流量范围

– 200 to 200 slm

– 24 to 240 slm

– 100 to 250 slm

– 250 to 250 slm

量程精度

0.05 slm

0.1 slm

0.05 slm

0.1 slm

读数精度, % of MV

2.50%

2.5% (< 60 slm)
 4% (< 150 slm)
 5% (< 240 slm)

2% (– 40 to 80 slm)
 3% (– 60 to 100 slm)
 7% (– 100 to 250 slm)

3 % (– 100 to 100 slm)
 7 % (– 250 to 250 slm)

压降

< 1 mbar @ 60 slm

< 3 mbar @ 60 slm

< 1 mbar @ 60 slm

< 1.8 mbar @ 60 slm

接口类型

Medical Cone (22 mm) & O-ring

O-ring

Medical Cone (22 mm) & O-ring

Medical Cone (22 mm) & O-ring

输出方式

digital, I2C

analog

digital, I2C

digital, I2C

取样时间

0.5 ms

N/A

0.5 ms

0.5 ms

适用介质

Air, N2 , O2

Air, N2 , O2

Air, N2 , O2

Air, N2 , O2

供电电压

5 V

5 V

5 V

5 V

最大工作压力

1.3 bar

1.3 bar

1.07 bar

1.1 bar